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半导体生产线的紧急订单调度问题研究

发布时间:2009-01-29
作者:佚名  
资料简介:
简介:前端工艺常常直接被称作半导体生产线,为了防止尘埃污染晶圆片,许多工序都必须在洁净的环境下进行。加工晶圆片的设施称为晶圆车间。晶圆片以批为单位,靠标准设备在车间中按顺序传输。有些工序的具体操作因产品及所用的技术而异,该过程是半导体制造过程最复杂最关键的部分,同时也是资金投入最高、耗时最长的部分。一直是众多从事半导体生产调度研究的学者们和工程技术人员所关注的焦点。
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