大规模集成电路中的可制造性设计研究（硕士论文）

本文从如何提高设计产品的良率为出发点探讨研究后物理设计完成阶段DFM处理的方法以及其原理，介绍了当前最为主流的基于规则的DFM修正。同时，本文也寻求深亚微米制造工艺对集成电路设计和产品良率的影响，并由此提出一些旨在设计阶段就可以考虑的可制造性要点，把可制造性设计向前推移并推动传统的设计流程向制造友好型设计流程转交。