- 资料名称:半导体厂之制造执行系统设计
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- 资料语言:简体中文运行环境:WinXP Win2K WinNT WinMe Win9x
- 授权方式:共享资料资料大小:1.66M
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所需E币:本次下载需要 8 E币 - 整理时间:2006-1-12 16:26:45原创作者:
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- 资料简介:本资料为半导体厂之制造执行系统设计,对半导体厂的制造执行系统进行了全面设计,内容丰富,可供感兴趣的专业人士下载学习和研究使用。
主要内容:
半导体生产流程示意图
制造执行系统(MES)架构
制造执行系统信息之汇整
以生产隧道为基础之现代化半导体厂布局
半导体生产流程定义
步骤执行之标准流程
传统半导体制造流程
1、MES数据库:E/R图分析
2、MES过帐服务器(Transaction Server)
3、支持半导体厂之全自动化解决方案
4、Web–based MES人机界面
MES数据库数据模块
MES使用者界面功能图
MES网站服务器存取数据库
成果展示
• 四隧道之虚拟晶圆厂
• 系统架构及硬件配置
• 展示目的
• 展示流程
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