虚拟半导体厂之制造执行系统设计

本文为关于虛擬晶圓廠之製造執行系統設計的论文，详细介绍了关于生产半导体的工艺的制造执行系统的结构的设计，适合企业相关人员学习和培训使用。本文为PPT格式。
主要内容：
1、緒論
2、晶圓之製造執行系統
3、製造執行系統資料庫設計
4、虛擬晶圓廠架構界面整合
5、四隧道之虛擬晶圓廠
6、結論與未來研究方向