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IC制造工艺

发布时间：2008-12-20

资料简介：

刻蚀
•光刻就是在光刻胶上形成图形
•下一步就是将光刻胶上的图形通过刻蚀转移到光刻胶下面的层上
•刻蚀工艺分为湿法和干法

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IC 制造工艺